四级直式油扩散泵有名四级油泵，比三级多了一些喷口，效果更好。扩散泵的原理：在前级真空泵所造成的低真空条件下，加热泵内硅油生成蒸汽，以极高速度通过泵内各级喷口喷出，使容积内的气体分子被带到捕集器的位置，再由前级泵抽出，从而使前级系统达到高真空。
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